電子半導(dǎo)體廢氣治理需結(jié)合其工藝復(fù)雜、廢氣成分多樣（含酸性/堿性氣體、有機(jī)溶劑、特種氣體等）及高安全性要求的特點(diǎn)，采用分類收集、分級(jí)處理、深度凈化的組合工藝，并嚴(yán)格遵循環(huán)保法規(guī)。以下是具體技術(shù)路徑與管理策略：

  

  一、廢氣特性與治理難點(diǎn)

  成分復(fù)雜性

  酸性氣體：HF、HCl、Cl?（來(lái)自蝕刻、清洗工藝）。

  堿性氣體：NH?（來(lái)自CVD沉積、擴(kuò)散工藝）。

  有機(jī)廢氣：PGMEA、IPA（光刻膠溶劑）。

  特種氣體：SiH?（硅烷）、PH?（磷化氫）、NF?（三氟化氮，強(qiáng)溫室氣體）。

  治理難點(diǎn)

  高毒性/腐蝕性：如Cl?、SiH?泄漏可能引發(fā)爆炸或中毒。

  低濃度大風(fēng)量：部分工藝廢氣濃度低（<100 mg/m³），但總量大。

  法規(guī)嚴(yán)格：需滿足《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 39726-2020）及地方特排限值。

  二、源頭控制與分類收集

  工藝優(yōu)化

  替代高危氣體（如用NF?替代CF?減少溫室效應(yīng)）。

  密閉化操作（如手套箱、局部排風(fēng)罩）減少無(wú)組織排放。

  廢氣分類

  酸性/堿性廢氣：?jiǎn)为?dú)管道收集，避免中和反應(yīng)放熱。

  有機(jī)廢氣：與無(wú)機(jī)廢氣隔離，防止爆炸風(fēng)險(xiǎn)。

  易燃易爆氣體（如SiH?、H?）：專用防爆管道，設(shè)置緊急切斷閥。

  三、預(yù)處理階段

  顆粒物去除

  高效過(guò)濾器（HEPA濾網(wǎng)）：去除0.3μm以上顆粒，保護(hù)后續(xù)設(shè)備。

  濕式洗滌塔：同步去除水溶性氣體（如NH?）和顆粒物。

  溫度/濕度控制

  冷凝器：降低廢氣溫度，防止高溫引發(fā)反應(yīng)。

  除霧器：去除水分，避免腐蝕管道。

  四、核心處理技術(shù)組合

  方案1：酸性/堿性廢氣處理

  工藝流程：

  堿液噴淋塔（處理HCl、Cl?）→酸液噴淋塔（處理NH?）→除霧器

  關(guān)鍵設(shè)計(jì)：

  噴淋液循環(huán)使用，定期檢測(cè)pH值并補(bǔ)充藥劑。

  塔內(nèi)填料選擇耐腐蝕材料（如PP、PTFE）。

  方案2：含氟廢氣處理

  工藝流程：

  石灰乳噴淋塔（Ca(OH)?吸收HF）→干式吸附床（活性氧化鋁吸附殘留F?）

  優(yōu)勢(shì)：石灰乳成本低，吸附床可深度凈化至0.1mg/m³以下。

  方案3：有機(jī)廢氣處理

  適用場(chǎng)景：低濃度（<500mg/m³）、大風(fēng)量廢氣。

  工藝流程：

  沸石轉(zhuǎn)輪吸附→脫附濃縮→蓄熱式熱氧化（RTO）

  注意：RTO需防硅烷燃燒產(chǎn)物（SiO?）堵塞蓄熱體，需定期高壓空氣反吹。

  方案4：特種氣體處理

  SiH?/PH?：

  安全燃燒爐（850℃以上徹底氧化）→堿液噴淋（吸收SO?、PO??）。

  NF?：

  高溫分解爐（>1200℃）→堿液吸收（生成NaNO?/NaNO?）。

  五、深度凈化與安全措施

  應(yīng)急處理

  設(shè)置活性炭吸附箱作為安全網(wǎng)，應(yīng)對(duì)濃度波動(dòng)或設(shè)備故障。

  防爆設(shè)計(jì)

  管道安裝阻火器、泄爆片，設(shè)備接地防靜電。

  有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)設(shè)置氮?dú)獗Ｗo(hù)裝置。

  副產(chǎn)物資源化

  噴淋廢液經(jīng)中和、沉淀后委外處理，或回收有用成分（如氟化鈣）。

  六、監(jiān)測(cè)與運(yùn)維管理

  在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（CEMS）

  實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)HF、HCl、非甲烷總烴等指標(biāo)，數(shù)據(jù)聯(lián)網(wǎng)至環(huán)保部門(mén)。

  定期檢測(cè)

  每季度委托第三方檢測(cè)特征污染物（如NF?、SiH?）。

  設(shè)備維護(hù)

  噴淋塔每月清理結(jié)垢，RTO蓄熱體每年清灰，催化劑每2年再生。

鑫藍(lán)環(huán)保科技（昆山）有限公司多年來(lái)專注于電子半導(dǎo)體廢氣治理設(shè)計(jì)、制造和安裝。我們產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒、RCO蓄熱催化燃燒、CO催化燃燒、TO直燃爐、有機(jī)廢氣處理設(shè)備、冷凝回收、防爆除塵器、酸堿廢氣處理、濾筒除塵器、防爆除塵器、單機(jī)除塵器、倉(cāng)頂除塵器、旋風(fēng)除塵器、洗滌塔、活性炭吸附箱、靜電除油設(shè)備等。

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