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      [鑫藍動態]三氟化氮廢氣處理工藝-鑫藍環保[
                                        2025-06-10 00:00
                                        ]
      
                                
      
                                       三氟化氮（NF?）是一種廣泛應用于半導體制造、平板顯示和光伏行業的特種氣體，但其高全球變暖潛能值（GWP，約為17,200）和潛在的環境危害性（高溫分解后可能生成HF、NOx等有毒物質）使其廢氣處理成為工業環保領域的重要課題。以下是三氟化氮廢氣處理的主要工藝及技術要點：

  
  一、處理目標
  分解NF?：將其轉化為無害或低危害物質（如N?、F?等）。
  控制副產物：避免分解過程中產生HF、NOx等二次污染物。
&nbs
      
                                
      
                                    
                                        http://m.sfruc.net.cn/Article/sfhdfqclgyxlhb_1.html3星
      
                            
      
                        
                    
                    
                    
                    
                    
                    
                    

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