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      [鑫藍動態]半導體行業廢氣處理工藝推薦-鑫藍環保[
                                        2025-07-28 00:00
                                        ]
      
                                
      
                                      半導體行業在生產過程中會產生多種廢氣，包括揮發性有機化合物（VOCs）、酸性氣體、堿性氣體、有毒氣體以及顆粒物等。這些廢氣若未經有效處理直接排放，會對環境和人體健康造成嚴重危害。以下是針對半導體廢氣處理的推薦工藝，結合了技術成熟度、處理效率、運行成本及環保要求等因素：

  
一、揮發性有機化合物（VOCs）處理工藝
沸石轉輪吸附濃縮+RTO（蓄熱式熱氧化）
工藝原理：沸石轉輪利用其多孔結構吸附VOCs，通過高溫脫附將濃縮后的VOCs送入RTO進行高溫氧化分解，
      
                                
      
                                    
                                        http://m.sfruc.net.cn/Article/bdtxyfqclgytjxlhb_1.html3星
      
                            
      
                        
                            
      
                                
      [鑫藍動態]半導體制造工藝有機廢氣處理設備[
                                        2025-03-22 00:00
                                        ]
      
                                
      
                                      鑫藍廢氣處理設備－電子廠涉及的行業很多，不同行業在工藝上有一定差異，產生的廢氣種類也有一定的差異，今天就從半導體行業入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導體廢氣處理主要針對半導體行業有機廢氣和毒性氣體的治理，我們嘗試使用筒式沸石轉輪廢氣處理技術。半導體行業產生的有機廢氣，主要可以分為，半導體制造工藝有機廢氣，和半導體封裝工藝產生的有機廢氣。

  
　　半導體制造工藝
　　1、電子行業生產廠家處理有機廢氣和毒氣的處理方法
　　現在，半導體制造過程中排放的含有有
      
                                
      
                                    
                                        http://m.sfruc.net.cn/Article/bdtzzgyyjfqclsb_1.html3星
      
                            
      
                        
                            
      
                                
      [鑫藍動態]半導體行業的廢氣有哪些，如何處理？[
                                        2024-01-18 00:00
                                        ]
      
                                
      
                                       半導體行業的廢氣主要包括一般氣體廢氣、含毒性物質的廢氣、有機廢氣和含有酸性/堿性物質的廢氣。其中，有機廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿廢氣包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的產生主要來自半導體制造過程中的清洗、刻蝕、顯影等環節。

  
對于這些半導體廢氣處理，需要根據其性質選擇合適的方法，如洗滌法、吸附法、燃燒法等。同時，還需要注意控制處理效果，確保廢氣排放符合的相關標準。
半導體廢氣處理方法有多種，主要包括以下幾種：
熱氧化法
      
                                
      
                                    
                                        http://m.sfruc.net.cn/Article/bdtxydfqynxrhcl_1.html3星
      
                            
      
                        
                            
      
                                
      [鑫藍動態]半導體工業廢氣處理[
                                        2023-07-18 00:00
                                        ]
      
                                
      
                                     半導體廢氣的成分和廢氣處理工藝方案可能會因具體的工藝過程和廢氣排放點而有所不同。以下是一般情況下常見的半導體廢氣成分和廢氣處理工藝方案的示例：

  
1.半導體廢氣成分：
  氣體：常見的廢氣成分包括氨氣（NH3）、二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOx）、氯化氫（HCl）、二氧化碳（CO2）、揮發性有機化合物（VOCs）等。
  懸浮顆粒物：半導體制造過程中可能產生微小的顆粒物，如硅塵、金屬氧化物等。
2.半導體廢氣處理工藝方案：
      
                                
      
                                    
                                        http://m.sfruc.net.cn/Article/bdtgyfqcl_1.html3星
      
                            
      
                        
                            
      
                                
      [鑫藍動態]鑫藍環保-半導體廢氣處理-沸石轉輪+催化燃燒[
                                        2023-03-24 00:00
                                        ]
      
                                
      
                                     新材料行業半導體廢氣處理的方法。半導體行業與傳統材料相比，新材料產業具有技術高度密集，研究與開發成本高，產品的附加值高，生產與市場的強，應用范圍廣，發展前景好。

  
一、半導體制造工藝過程中揮發各種有機廢氣，廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸堿氣體、有機廢氣。
　　1、酸堿廢氣主要來自擴散、CVD、CMP及刻蝕等工序，這些工序使用酸堿清洗液對晶片進行清洗。目前，在半導體制造工藝中使用普遍的清洗溶劑為過氧化氫和硫酸的混合劑。
　　2、
      
                                
      
                                    
                                        http://m.sfruc.net.cn/Article/xlhbbdtfqclfszlchrs_1.html3星
      
                            
      
                        
                    
                    
                    
                    
                    
                    
                    

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