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      [鑫藍(lán)動態(tài)]二氯硅烷分裝和真空系統(tǒng)廢氣處理工藝[
                                        2025-05-28 00:00
                                        ]
      
                                
      
                                      二氯硅烷（SiH?Cl?）分裝及真空系統(tǒng)廢氣處理工藝需結(jié)合其化學(xué)特性（易燃、有毒、遇水水解）和工藝安全要求，設(shè)計分裝流程與廢氣凈化方案。以下是分步說明：

   
  一、二氯硅烷分裝工藝
  系統(tǒng)設(shè)計原則
  密閉性：全程采用雙機(jī)械密封、真空夾套管道，避免泄漏。
  惰性化：分裝前用高純氮?dú)猓∟?）吹掃系統(tǒng)，確保氧含量<1ppm，防止與二氯硅烷反應(yīng)。
  壓力控制：通過減壓閥和背壓閥維持分裝壓力≤0.
      
                                
      
                                    
                                        http://m.sfruc.net.cn/Article/elgwfzhzkxtfqclgy_1.html3星
      
                            
      
                        
                    
                    
                    
                    
                    
                    
                    

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